氧化工艺是一种 通过控制温度、时间、气氛等条件，使工件表面的金属或合金与氧气发生化学反应，生成一层均匀、致密、附着力强的氧化膜的工艺。这种工艺可以提高工件的耐腐蚀性、耐磨性、绝缘性、抗静电性等性能，延长工件的使用寿命。
氧化工艺可以分为直接氧化和间接氧化两种类型：
直接将物质与氧气接触，通过发生氧化反应生成氧化产物。常见的直接氧化工艺有燃烧、高温氧化和电化学氧化等。
通过中间体或催化剂的作用，将物质与氧气之间的反应转化为其他化学反应，最终生成氧化产物。
此外，氧化工艺在电子制造、半导体制造等领域有广泛应用，例如在硅晶圆表面形成二氧化硅或在铝及其合金表面生成氧化膜。
根据不同的需求，可以通过调节氧化过程中的温度、时间、气氛等条件，来控制氧化膜的厚度、颜色和性能。